又傳奧步?傳三星斷貨EUV機台 阻殺台積電生產進度

半導體廠搶進先進製程,紛砸大錢向獨家供應商艾司摩爾(ASML),訂購要價1.5億美元(折合新台幣約45億元)起跳的極紫外光微影設備(EUV)。根據韓媒報導,ASML今年規劃生產的12台EUV機台中,南韓三星擬訂下10台,外界推測三星此舉除考量ASML生產不順外,也趁機阻礙台積電等其他競爭對手的量產進度。

半導體製程愈來愈先進,尤其10奈米以下先進製程,必須導入波長只有13.5奈米的極紫外光(EUV) ,才能降低晶圓製造的光罩數,縮短晶片製程流程。雖然目前ASML開發的EUV機台造價相當昂貴,但三星已率先在7奈米導入EUV,未來2年包括英特爾(Intel)、台積電、格羅方德(GF)等也都計劃採用。

根據韓媒《BusinessKorea》引述業界消息指出,三星正與ASML洽談購買10台EUV機台,占今年生產量12台的8成比重。由於先前曾傳出光學鏡頭生產商蔡司(Carl Zeiss)供應不足,導致ASML的EUV機台生產不順,外界認為,如果最後三星真的將該關鍵設備壟斷,將阻礙其他競爭對手開發先進製程的進度,對於三星拓展晶圓代工業務相當有利。

事實上,三星先前在OLED的市場爭奪戰中就用過相同奧步,並因此嘗到甜頭。三星當時也是從獨家供應商日本Canon Tokki手中,將生產的7台OLED蒸鍍機買下其中5台,讓競爭對手LG Display及中國大陸的京東方分別只搶到1台,發展追不上三星。據指出,明年Canon Tokki計畫生產10台OLED蒸鍍機,其中一半已由三星訂下,他廠只能徒呼負負。

中時電子報 中時電子報/盧宏奇

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